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第1694章 配合默契(2 / 2)

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过去半个多世纪以来,摩尔定律一直在发挥作用,但当光刻机的光源波长卡在193n,芯片的制程缩小至65n时,摩尔定律开始失效。

日本光刻机巨头尼康和佳能发扬传统艺能,选择了保守求稳,寄希望于157n波长光刻、以空气为介质的“干式”光刻技术的突破上。

而这时候则2002年,时任台光电光刻技术研发负责人的林务本提出了一项构想,即利用水做介质的浸润式光刻。

原理是利用光通过液体介质时会弯折的特性,显微镜的影像透过浸湿的镜头会进一步放大。

相反地,当光线通过浸在液体中的微缩影镜头时,就能将影像藉由折射率进一步缩小。林务本认为市面上既有的193n微影透过水折射的效果要比正在攻克的157n效果会好得多。

在台光电的支持下林务本带着方案亲自跑遍美国、德国、日本等地,但无人理会,因为在如此精密的仪器中加水的想法听着就不靠谱,并且当时的光刻机厂商已将大量的研发投资押注157n干式光刻机,此时要他们再开一条技术路线,投资风险太大。

尼康甚至仗着垄断地位要求台积电雪藏林务本。最后,走投无路的林务本,遇到了雄心勃勃的AS斯密特,二者一拍即合。斯密特清楚只有技术才能以小博大,要想在技术上打败尼康和佳能,新的技术路线就是机会。

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